自然との調和を目指す企業です
革新的な技術で世の中を動かす企業を目指します。
セラミック(アルミナ,SiC,AlN)
耐熱性、対磨耗性、耐腐食性、プラズマ抵抗性に優れたセラミック!
半導体及びLCD装置の消耗パーツ機械加工技術開発に専念し、大手の半導体・LCD製造メーカーからその技術を認められ、現在は日本を始め、韓国、米国、台湾、中国、シンガポール等に半導体・LCD関連消耗パーツを供給すると共に、精密部品の素材を開発するメーカー SOLMICS、MCN社が取り扱う『セラミック』のご案内です。
アルミナセラミックス(Al2O3)はアルミナを高度の技術で精製して作るもので、アルミナを80%以上含有しているものだけをアルミナセラミックスと呼んでいる。
ファインセラミックスで幅広く使われる高純度のアルミナは一般的に99.5%以上の純度を持っており、平均粒子の大きさは1um以下の微細な粉末として比較的焼結しやすい。
■取り扱い材質
Al2O3,SiC,AlN,Y2O3,Zro2,Si3N4
■材質的特性
・高耐熱性
・高対磨耗性
・高耐腐食性
・高プラズマ抵抗性
※詳細は、お問い合わせ下さい。
単結晶シリコン(Si)
半導体産業に最適なシリコン(Silicon)!
半導体及びLCD装置の消耗パーツ機械加工技術開発に専念し、大手の半導体・LCD製造メーカーからその技術を認められ、現在は日本を始め、韓国、米国、台湾、中国、シンガポール等に半導体・LCD関連消耗パーツを供給すると共に、精密部品の素材を開発するメーカー SOLMICS、MCN社が取り扱う『シリコン』のご案内です。
半導体素子の材料として幅広く使われているシリコン(Silicon)は酸化物であるSiO2の状態で、砂、岩石、鉱石等に豊富に存在しており、非常に判定的に半導体産業に供給できる優れた材料である。
シリコンは精製過程を経て9N%の超高純度単結晶構造を持ち、温度変化による物理的、機械的性質変化が少なく、比較的高温(約200℃)でも素子が動作できるなど強力な耐久性、高機能性、高信頼性を持っている。
■材質的特性
・超高純度
・高耐熱性
・耐腐食性
・耐摩耗性
※詳細は、お問い合わせ下さい。
石英(溶融・合成)Quartz
耐熱・耐熱衝撃・耐薬品性 石英(SiO2)
半導体及びLCD装置の消耗パーツ機械加工技術開発に専念し、大手の半導体・LCD製造メーカーからその技術を認められ、現在は日本を始め、韓国、米国、台湾、中国、シンガポール等に半導体・LCD関連消耗パーツを供給すると共に、精密部品の素材を開発するメーカー SOLMICS、MCN社が取り扱う『石英』のご案内です。
石英(SiO2)はガス含有量が少なく、電気伝導を発生するアルカリ成分を殆ど含んでいない不導体状態で'シリカ硝子'と呼ばれている。高純度化された石英ガラス繊維は光吸収が少なく、優秀な投光性を持っているため、光ファイバーとして重要な素材であり、半導体分野では主にドライエッチと拡散工程に使用されている。
■材質的特性
・高投光性
・高耐熱性
・耐摩耗性
・低熱膨張性
・高電気絶縁性
・低ガス含有量
※詳細は、お問い合わせ下さい。
ヒーター
HEATER
半導体及びLCD装置用のヒーターを設計開発し、大手の半導体・LCD製造メーカーからその技術を認められ、現在は日本を始め、韓国、米国、台湾、中国、シンガポール等にパーツを供給する。MOCVD、ALD 工程に使われるPrecursor sourceは、TEOS、TEB、TEPOなどの大量生産の製
品用に製作しております。
・半導体、LED用ヒーターの設計、新規製作、再生
・LCD用ヒーターの設計、新規製作、再生
・Precursor sourceの設計、合成。キャニスターの設計、製作
MCN社が取り扱う『機能性部品』のご案内です。
※詳細は、お問い合わせ下さい。
ESC・溶接ベローズ・磁性流体シール
ESC,BELLOWS,MAGNETIC SEAL
半導体及びLCD装置の稼働に欠かせないクランプ部、摺動部、シール部、消耗パーツを初めとする機能性部品の機械加工技術開発に専念し、大手の半導体・LCD製造メーカーからその技術を認められ、現在は日本を始め、韓国、米国、台湾、中国、シンガポール等に半導体・LCD関連の消耗パーツ及び修理品供給。
・各種ESC(静電チャック)の設計、新規製作、再生
・溶接ベローズの設計、新規製作、修理
・磁気シールの設計、新規製作、修理
MCN社が取り扱う『機能性部品』のご案内です。
※詳細は、お問い合わせ下さい。
特殊O-RING ~コストダウンに向けてのご提案~
■パーフロロエラストマー(FFKM)
■高純度フッ素ゴム(FKM)
・MV SEAL採用事例
【装置】Producer 【仕様】P-SiH4 【処理枚数】10000枚
・複合製品例
アルミ(金属)+ゴムの機能製品
PTFE樹脂+ゴムの機能製品
・PTFE採用事例
液体(薬品・食品・等)を使用する製造装置等の配管部パッキンとして使用
※ 薬品・食品等の製造ライン(装置)での採用
※詳細は、お問い合わせ下さい。